ガラスウエハ加工
TGV、キャビティ、気密封止に対応するカスタムガラス構造技術
当社は、半導体、センサー、MEMS用途向けにガラスウェハ加工ソリューションを提供しています。
当社の技術は、精密微細加工、気密封止、ならびにウェハレベルパッケージングに対応し、2.5D/3D構造およびキャビティ構造設計の双方をサポートします。
精密ガラス微細構造
製造プロセス
ガラスウェハにおける複雑な構造設計に対応するため、成形加工およびレーザー／エッチングベースの微細加工という2つの製造プロセスを提供しています。
対応ガラス種は、ホウケイ酸ガラス、各種光学系ガラス、アルカリフリーガラス、アルミノシリセートガラスです。
標準ウェハサイズは2インチから8インチ、厚みは0.2mm～2.0mmに対応しており、要求に応じてTTV 5μm以下の仕様にも対応可能です。
構造レイアウト、設計目標、および生産規模に応じて最適な手法を提案します。
| 特性 | 成形工法 | Laser / Etching工法 |
|---|---|---|
| 最小穴径 | ϕ100 μm | ϕ50 μm |
| ピッチおよび密度 | 100μm以上、優れた均一性 | ピッチ50μm未満の高密度パターン |
| 構造の種類 | キャビティ、段差壁構造、面取りビア、貫通穴、ブラインドHole | マイクロビア、エッチングトレンチ、可変深さ加工 |
| 主な利点 | 熱損傷がなく、内部応力が低い | 高解像度、柔軟な設計および深さ制御 |
| 制約事項 | 金型が必要。微細ピッチには適用が限定される | 熱応力の可能性があり、プロセス時間が長い |
次世代デバイス向け統合ガラスパッケージング
One Stop プロセスによるキャビティ、貫通ビア、および金属ピンの統合
当社の成形プロセスは、構造形成にとどまらず、導電性および機械的機能を有する要素をガラスウェハへ機能的に統合することを可能にします。
MEMSおよびセンサー封止向けキャビティ構造
垂直信号伝達のためのThrough Glass Via（TGV）形成
CuまたはW PIN（φ100～φ300）を用いた金属ピン挿入
キャビティ、ビア、および金属ピンのOne Stop成形プロセスによる同時形成
これにより、高い気密性、電気的絶縁性、および熱的安定性を備えた、信頼性・コスト効率・省スペース性に優れたパッケージングソリューションを実現します。
対応アプリケーション
気密封止センサーキャップから高密度インターポーザー、光学プラットフォームまで
各設計は寸法精度およびプロセス適合性を考慮して設計されており、試作から量産まで対応可能です。
当社のキャビティ構造ガラスウェハは、MEMS圧力センサー、ジャイロスコープ、加速度センサー向けの気密封止キャップウェハとして広く使用されています。
| 産業分野 | 用途例 | 概要 |
|---|---|---|
| MEMS & Sensor | センサーキャップウエハ | 圧力・モーションセンサー向けキャビティ構造ガラスキャップ |
| 半導体パッケージ | ガラスインターポーザ基板 | 2.5D/3D集積向けの信号および電源配線に対応したTGVウェハ |
| 先端パッケージング | マルチスタックモジュールにおけるコアガラス | 多層チップスタックに用いられる超平坦コア基板 |
| オプトエレクトロニクス | フォトニックインターフェースプラットフォーム | 光学アライメントおよび導波路結合に対応する透明基板 |
| バイオ／医療機器 | ウェハレベル診断チップ | 流体分析用のウェルおよび微細構造を有する構造化ウェハ |
| 車載センサー | 金属フィードスルー付き気密封止ガラス | 過酷環境向けの導電性ピン挿入型センサー封止構造 |
| Display & LED | 耐熱光学基板 | LEDの高熱負荷環境下で使用される平坦・研磨ガラス |
| RF／通信 | RFガラスインタポーザ | 高周波信号配線向け低損失ビアを有するガラス基板 |
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当社のエンジニアが、材料選定、構造設計、および製造プロセスの選択をサポートします。
お客様のアプリケーションに最適なソリューションをご提案します。
対応産業分野
当社の構造化ガラスウェハは、半導体、MEMS、センサー、光学分野など、幅広い産業で採用されています。
当社のガラスウェハソリューションは、多様な業界において信頼されています。
当社のコアガラス基板は、再配線層（RDL）のビルドアップおよび多層パッケージング集積に適した、超平坦かつ高い寸法安定性を備えたプラットフォームを提供します。
また、カスタマイズされた構造設計と特性制御された材料により、次世代デバイスに求められる高性能化を実現します。
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当社にて内容を精査のうえ、技術サポートを含めたカスタムウェハ提案をご提供します。